製品&サービス
 
 
HOME > 製品・サービス > MemsONE  適用事例
 
 

spacer spacer spacer
 
MemsONE 適用事例

 
  【MemsONE 構造解析事例】
MemsONE 構造解析事例
 
【製品評価・精度検証】
内容 出展・提供機関(敬称略) 公開日
2次要素に対するメッシュの細かさと計算精度検証 東京工芸大
(2008MemsONEユーザ会)
平成20年12月17日
MemsONE回路シミュレータにおける動特性の検討 東京工芸大
(2008MemsONEユーザ会)
平成20年12月17日
MemsONE標準プロセスレシピの活用例 オリンパス
(2008MemsONEユーザ会)
平成20年12月17日
 
【デバイス別】
内容 出展・提供機関(敬称略) 公開日
静電駆動マイクロステップモータの電界解析による駆動力の算出 東京大学
(2008MemsONEユーザ会)
平成20年12月17日
カンチレバーの製造プロセス検証
オリンパス
(MemsONE活用事例セミナー)
平成20年2月12日
ナノ ピンセット 設計におけるMemsONEの活用事例 東京工芸大学
(MemsONE活用事例セミナー)
平成20年2月12日
RF-MEMS オムロン
圧力センサー パナソニック電工
MEMSミラー
オリンパス
 
【機能別】
内容 出展・提供機関(敬称略) 公開日
材料・プロセスDBの構築 産業技術総合研究所
(MemsONE活用事例セミナー)
平成20年2月12日
ナノインプリントにおける応用事例 大阪府立大学
(MemsONE活用事例セミナー)
平成20年2月12日
接合強度評価
 
 
  【MemsONEを使った設計の流れ】
設計、プロセス間でシームレスにデータが活用でき、 両工程間の相互理解が進みます。  MEMS設計のノウハウがMemsONEの中に蓄積されます。
 
■駆動原理を検討/構造を設計
  知識DBの活用
  デバイス3次元CADが標準搭載
 
■解析
  MEMS特有の薄膜に適したメッシャー
   
 
  静電力、静電ポテンシャル、
応力などをチェック。
 
 
■プロセスを検討
  マスク設計
  ※3次元データとマスクデータは相互に取り込み可能。
  *GDSUフォーマットにも対応
  製造できるかをチェック
  標準プロセスを登録しておけば設計者でもプロセスの確認が可能。
  プロセス逆問題の活用
  公開レシピの活用(準備中)
  知識DBの活用
  プロセスエミュレーション機能で出力された3次元データを、そのまま解析データとして入力可能。
  プロセスが正しいかが視覚的に確認できます。
■設計へのフィードバック
  プロセスエミュレータが3次元形状を自動作成。
  設計・プロセス間で何度でもシミュレーションが可能です。
■エッチングシミュレション
  設計、プロセスが固まればエッチングシミュレションで詳細に解析
  ⇒製造へ